外延片檢測機構

外延是半導體工藝當中的一種。在bipolar工藝中，硅片*底層是P型襯底硅（有的加點埋層）；然后在襯底上生長一層單晶硅，這層單晶硅稱為外延層；再后來在外延層上注入基區、發射區等等。*后基本形成縱向NPN管結構：外延層在其中是集電區，外延上面有基區和發射區。外延片就是在襯底上做好外延層的硅片。

外延片檢測范圍

氮化鎵外延片、半導體外延片、硅外延片、LED外延片、芯片外延片、半導體外延片、碳化硅外延片、晶圓外延片、激光外延片等。

外延片檢測項目

外觀質量、規格尺寸、材質鑒定、表面質量檢測、反射率檢測、光譜分析、峰值波長檢測、波長均勻性檢測、表面形貌分析、厚度檢測、翹曲度檢測、表面粗糙度檢測、可靠性、鹽霧試驗、失效分析、常規檢測、第三方檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

外延片檢測周期：7-15個工作日(參考周期，可加急)

外延片檢測標準（部分）

1、 GB/T 14139-2009 硅外延片

2、 GB/T 14139-2019 硅外延片

3、 SJ 3242-1989 砷化鎵外延片

4、 GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

5、 GB/T 14015-1992 硅-蘭寶石外延片

6、 SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷圖集

7、 SJ/T 11470-2014 發光二極管外延片

8、 GB/T 30854-2014 LED發光用氮化鎵基外延片

9、 T/ZZB 2833-2022 高壓MOSFET用200 mm硅外延片

外延片檢測流程

1、聯系客服，溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程，上門取樣/送樣/郵寄樣品；

3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求，根據檢測經驗及標準方法，定制試驗方案；

5、進行試驗，得到試驗數據，出具測試報告；

6、完善的售后服務，可隨時咨詢；

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